Техническое обслуживание и ремонт оборудования для вакуумного покрытия

Обслуживание оборудования для вакуумного покрытия
1.1 Поддержание механического вакуумного насоса:
(1) Насос и его окружающая среда всегда должны быть чистыми.
(2) Во время работы насоса объем масла в масляном резервуаре не должен быть ниже центра указателя масла.
(3) Вакуумные насосные масла разных типов и брендов не могут быть смешаны.
(4) повышение температуры используемого насоса не должно превышать 70 с.
(5) Масло нового насоса должно быть изменено в течение 1 ~ 2 раза после того, как оно используется в течение примерно 100 часов. После того, как замененное масло больше не содержит порошок железного металла, его можно заменить
Расширить период изменения масла. Период изменения нефти определяется в соответствии с положениями инструкций и фактической ситуацией использования.
(6) Новый насос и отремонтированный насос должны быть протестированы в течение 4 ~ 6 часов, чтобы проверить, соответствует ли насос требованиям к использованию.
(7) После того, как насос используется в течение длительного времени (в диапазоне от 2 до 3 лет), степень лимита вакуума уменьшается, и он должен быть пересмотрен один раз. Это также должно
Очистите и отремонтируйте систему, трубопровод, клапан и двигатель.
(8) Когда насос используется, из -за особых несчастных случаев, таких как повреждение системы, или когда вход воздуха внезапно подвергается воздействию атмосферы, насос должен быть остановлен как можно скорее и выключен
Отсоедините вакуумную трубу, соединенную с системой (закрыть низкий вакуумный клапан или зажим вакуумным зажимом), чтобы предотвратить инъекцию нефти и загрязнение рабочего места.
(9) Не разбирайте все части насоса без разрешения. (10) Когда насос не используется, используйте резиновую пробку (крышка)
Подключите вход воздуха, чтобы предотвратить падение грязи и жестких объектов в насос. (11) Всегда обращайте внимание на тенденцию развития вакуумных технологий и старайтесь как можно скорее внедрить новые технологии и материалы (такие как новое насосное масло), чтобы повысить производительность оригинальной системы. Для вышеуказанных точек соответствующие операционные процедуры могут быть сформулированы и строго реализованы в соответствии с конкретной ситуацией.
1.2 Ежедневное обслуживание всего набора оборудования:
(1) Операторы должны быть знакомы с различными инструментами, насосами и различными частями оборудования. Прочитайте и понимайте различные инструкции.
(2) Давление воды в охлаждающей воде должно быть сохранено между 0,1 ~ 0,2 МПа, а температура на выходе вода W 45C.
(3) давление сжатого воздуха составляет от 0,4 ~ 0,5 МПа.
(4) Перед запуском каждого котла проверьте пропускную способность защитного газа, чтобы избежать недостаточного заполнения газа, и замените цилиндр.
(5) Если есть какое -либо ненормальное состояние после запуска, его следует немедленно устранить или отключить, чтобы найти причину.

(6) Часто проверяйте объем возвращаемой воды каждой части и убедитесь, что во время работы имеется достаточное количество охлаждающей воды.
(7) (7) Когда оборудование не используется, газ в печи должен быть эвакуирован. Если он не используется в течение долгого времени, он должен быть заполнен защитным газом, а циркулирующая вода в куртке с водой оборудования должна быть сброшена.
(8) Механический насос и насос корней следует изменять и заправлять регулярно, а масляная чашка корня всегда должна быть заполнена маслом. При смене масла обязательно
Слейте масла отходов.
(9) При изменении масла диффузионного насоса, если внутри существует окисление внутри, очистите слой окисления внутри диффузионного насоса, а затем замените его новым маслом.
(10) Чистота заряженного защитного газа не должна составлять не менее 99,99%.
(11) Воспламеняемые, взрывные и коррозионные газы не позволяют использовать в качестве защитной атмосферы для этого оборудования.
(12) Поверхность оборудования и поверхность прибора должны быть чистыми. Не разрешено стереть внутреннюю стену печи водой или не вакуум
Протрите с масляной тряпкой.
(13) Сепаратор масла-воды на пневматическом триплексе пневматической системы часто должен сливать воду, а масла в вакуумном диффузионном насосе следует вводить в масляный туман.
(14) Напряжение всего оборудования должно находиться в пределах диапазона 350 ~ 420 против. Три этапа должны быть сбалансированы.
(15) Регулирование, электрическое контактное давление, термопару и т. Д. Часто покрывается диффузионным маслом насоса для образования масляной пленки между ним и сиденьем,
Предотвратить утечку воздуха. Вышеуказанные детали и фланцевые соединения не разрешают запечатать вакуумным герметичным грязью в течение длительного времени.
(16) Болты каждой части должны регулярно проверять. Если они обнаружены свободными, они будут затянуты вовремя.
(17) Когда оборудование работает, обратите внимание на отображение каждого инструмента и звук каждого насоса, чтобы вовремя выяснить аномалии и узнать
(18) Операционная среда оборудования находится при относительной влажности 85% А и температуру 10 ~ 40 С. При разборке и ремонте оборудования все детали не являются
Это разрешено стучать с тяжелым молотком, а поверхность герметизации и герметизационная канавка не должны быть поцарапаны.
(19) Когда оборудование работает, оператор не должен покидать пост в течение длительного времени.
Обслуживание оборудования для вакуумного покрытия
2.1 Ключевые моменты обслуживания оборудования для вакуумного покрытия:
Ключевой момент поддержания вакуумного оборудования заключается в том, чтобы судить об ошибке. Часто вакуум не может быть накачан. Там может быть несколько причин. Мы должны узнать причины. Возможно, вакуумный блок имеет недостаточную насосную емкость, или скорость утечки высока или оба. В настоящее время вы должны терпеливо наблюдать и записать, чтобы выяснить ошибку. Например, если время эвакуации одинаково, а вакуумная степень низкая, в настоящее время закройте основной клапан. Если указатель вакуумного датчика быстро падает, в большинстве случаев утечка вакуумной камеры. В настоящее время точка утечки следует найти в первую очередь. Такие как вакуум
Указатель метра падает очень медленно. В большинстве случаев насосная емкость вакуумного блока недостаточна. В настоящее время мы можем сосредоточиться на поиске вакуумного насоса и клапана
Чтобы увидеть, где есть утечка, или масла диффузионного насоса загрязнено и окислено; Или передняя сцену трубопровод не очень хорошо запечатан,
Недостаточное масла насоса; Или эмульгирование масла насоса, утечка масла вала и другие неисправности.
1 、 Скорость утечки обнаружения:
Наиболее неприятной проблемой для пользователей является скорость утечки обнаружения. Утечка делится на внутреннюю утечку и внешнюю утечку. Внешняя утечка легче обнаружить, в то время как внутренняя утечка сложна
Сделай немного. Для больших точек утечки можно использовать метод пламени. Использование принципа, что воздушный поток может сделать пламя отклоняться, сначала вакуум, например, использование свечей
Или зажигалка постепенно обыскивается возле подозрительной точки, и будет обнаружено пламя, которое будет сдвинуто в точку утечки, затем можно найти точку утечки.
(1) Найти утечки и микросхемы:
Небольшие утечки и микросхмы труднее проверить. Обычно используемый метод заключается в использовании ионизационной трубки для обнаружения утечек, чувствительно к определенным газам в высоком вакуумном состоянии, таких как ацетон или этанол. Используйте медицинский шприц для распыления ацетона или этанола в подозрительные места. Когда он достигнет точки утечки, указатель измерителя ионизации, очевидно, будет качаться. Мы должны быть терпеливыми, чтобы использовать этот метод для обнаружения утечки. Мы должны подождать, пока не станет стабильным указанием измерителя ионизации, то есть насосной емкость и скорость утечки вакуумного блока сбалансированы, а затем опрыскивают. Повторите несколько раз, чтобы подтвердить точку утечки. (2) Поиск утечки и внешней утечки: внутренняя утечка в основном происходит на оборудовании с водяным охлаждением. Без сомнения, в проверке внешней утечки, но существуют следующие явления: скорость накачки механического насоса, очевидно, низкая, значение индикации вакуумного датчика низкая, масло механического насоса быстро эмульгируется, а детали на основе железа в вакуумной камере, очевидно, обтягиваются. При вышеуказанных условиях внутренняя утечка может быть в основном определена. Например, существует печь средней частоты средней частоты 25 кг, оборудованная насосом 2x-70 роторного лопата и двумя корнями ZJ-150. Когда они перекачиваются вместе, они могут накачать только 10 Па. Функция насоса ZJ-150 не может быть замечена, и не обнаружено внешней утечки, но существуют условия для быстрого эмульгирования механического насоса, а детали железа в вакуумной камере, очевидно, обтягиваются. После того, как оборудование для разборки очищено, утечка крышки печи обнаруживается путем прохождения охлаждающей воды, а остальное - выяснить точку утечки. Сначала очистите внутреннюю стену, а затем подключите охлаждающую воду, чтобы увидеть, есть ли какая -то влажная точка. Влажная точка - точка утечки.
2 、 Устранение неполадок:
Узнайте точку неисправности и разбирайтесь с ней в соответствии с местными условиями. Простой способ заменить детали, такие как резиновые кольца и болты; Такие большие, как клапаны и вакуумные насосы, вы можете изменить их до тех пор, пока они у вас есть под рукой. Запасные части должны выполняться в соответствии с требованиями, и также необходимо подтвердить, выполняются ли требования после сварки.