Понять, как реализуется процесс вакуумного покрытия

Вакуумное покрытиеэто процесс, используемый для производства высококачественных тонкопленочных материалов. Он производит тонкие пленки путем термического испарения или разрыва органических или неорганических материалов на поверхность субстрата в вакуумных условиях. В этой статье подробно рассказывается о реализации вакуумного покрытия.

Процесс вакуумного покрытия включает в себя следующие шаги:

1. Выберите правильный субстрат и материал

Выбор правильного субстрата и материала является первым шагом в вакуумном покрытии. Субстрат может быть стеклянным, пластиковым, металлическим или другим наноматериалами. Материалы могут быть органическими или неорганическими, такими как металлы, полупроводники, оксиды или нитриды.

2. Загрузите систему вакуумного покрытия

Второй шаг - загрузить подложку и материалы в систему вакуумного покрытия. Система вакуумного покрытия включает в себя вакуумную камеру, металлический испаритель, распыление и систему управления. Вакуумная камера представляет собой замкнутое пространство, используемое для поддержания вакуумной среды, испарители металлов и лопаты - это устройства, используемые для испарения или разрыва материалов на подложки, а система управления используется для мониторинга и регулировки вакуумной среды и испарения материалов или скорости распыления.

3. вакуум

После загрузки материала и субстрата вакуумная камера должна быть эвакуирована. Вакуум является очень важным шагом, потому что поддержание среды низкого давления и высокой чистоты может гарантировать качество мембраны. Вакуумная среда обычно ниже 10^-6 мбар, чтобы исключить молекулы газа и другие загрязнители.

4. испарение материала или распыление

Когда вакуумная среда достигает желаемого давления, материал может быть испарится или распылен на подложку. Существует два метода испарения материала: термическое испарение и испарение электронного луча. Распыление также имеет два метода: магнетроное распыление и раздувание дуги. Какой бы метод использовался, необходимо управлять скоростью испарения материала или распыления и толщины пленки.

5. Сделать многослойный фильм

Как только однослойная мембрана была изготовлена, несколько слоев можно сложить вместе, чтобы сформировать композит. Можно использовать различные материалы и процессы осаждения, такие как чередование осаждения, совместная разработка материалов с несколькими пистолетами и зонированное осаждение.

6. качество тестовой мембраны

Последний шаг - проверить качество мембраны. Тесты могут включать толщину, физические свойства, оптические свойства и электрические свойства, среди прочих. Определите, соответствует ли мембранный материал в соответствии с результатами теста.

Короче говоря, технология вакуумного покрытия-это метод для достижения высококачественных тонких пленок. Он должен выбрать соответствующий субстрат и материал, загрузить систему вакуумного покрытия, пылесосить, испарить или разбрызгивать материал, создавать многослойную пленку и проверить качество пленки. Технология вакуумного покрытия широко используется в электронике, оптике, медицинских и энергетических областях.