Принцип контроля давления оборудования для вакуумного покрытия

1. Фоновое введение
Оборудование для вакуумного покрытия является своего рода оборудованием, широко используемым в промышленном производстве. Его основная функция заключается в том, чтобы поместить материал, который необходимо покрыть в камеру вакуумного покрытия, и посредством реакции при высокой температуре и высокой вакуумной среде слой пленки равномерно осаждается на поверхности материала. и сформируйте определенный слой покрытия с особыми функциями и характеристиками. Среди них вакуумная степень и скорость адгезии в оборудовании являются важными показателями, влияющими на качество уровня покрытия, а стабильность вакуумной степени зависит от контроля давления в оборудовании.
2. Принцип контроля давления оборудования для вакуумного покрытия
1. Определение степени вакуума
Прежде чем ввести принцип контроля давления, необходимо представить, что такое вакуум. В физике вакуум относится к газовой среде, давление которого меньше, чем атмосферное давление, поэтому степень вакуума относится к давлению газа в определенном пространстве. В целом, вакуум обычно измеряется в паскалах (PA) или метрах (MBAR). В оборудовании вакуумного покрытия обычный диапазон вакуума составляет 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Принцип контроля давления
Когда вакуум слишком высок или слишком низкий, это повлияет на нормальную работу оборудования. Следовательно, необходимо контролировать уровень вакуума в оборудовании с помощью определенного метода. Среди них контроль давления является относительно простым и эффективным методом управления. В частности, принцип контроля давления состоит в том, чтобы использовать контроллер давления для управления скоростью потока газа в оборудовании путем обнаружения давления контролируемого конца, а затем через механизм обратной связи, управляя отверстием клапана, чтобы достичь цели управления давлением.
3. Основная композиция контроллера давления
В оборудовании вакуумного покрытия контроллер давления обычно используется для управления давлением. Его базовая композиция включает в себя четыре части: датчик обнаружения, контроллер, привод и систему управления.
Датчик обнаружения: в основном используется для обнаружения изменения давления контролируемого конца и преобразования его в соответствующий выходной сигнал для использования контроллером.
Контроллер: в основном он получает выход электрического сигнала от датчика, обрабатывает и анализирует его, а затем подает результат анализа обратно в привод, чтобы контролировать степень открытия привода.
Привод: в основном он контролирует скорость потока газа в оборудовании, контролируя степень открытия клапана, чтобы достичь цели управления давлением.
Система управления: в основном используется для мониторинга и управления различными индикаторами в оборудовании, таких как температура, степень вакуума и т. Д., И создание ряда стратегий управления.
3. Резюме
Таким образом, принцип контроля давления в оборудовании вакуумного покрытия заключается в контроле давления в оборудовании с помощью относительно простого и эффективного механизма обратной связи. Для создания такой стабильной системы управления требуется техническая поддержка различных аспектов системы управления оборудованием, таких как мониторинг параметров, алгоритм управления, управление приводом, системная связь и т. Д.